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用于故障分析和大型样品研究的领先纳米计量工具

作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器,其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20,这款全球精密的大型样品原子力显微镜,凭借着出色的数据准确性,在半导体和超平样品行业中大受赞扬。

强大全面的分析功能

Park NX20具备独一无二的功能,可快速帮助客户找到产品失效的原因,并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。无与伦比的精密度为您带来高分辨率数据,让您能够更加专注于工作。与此同时,真正非接触扫描模式让探针尖端更锋利、更耐用,无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。

即便是第一次接触原子显微镜的工程师也易于操作

ParkNX20拥有业界最为便捷的设计和自动界面,让你在使用时无需花费大量的时间和精力,也不用为此而时时不停的引导初学者。借助这一系列特点,您可以更加专注于解决更为重大的问题,并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。

为FA和研究实验室提供精确的形貌测量解决方案

样品侧壁三维结构测量

NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面,并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必备的。

对样品和基片进行表面光洁度测量

表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一,能够带来精确的失效分析和质量保证。

高分辨率电子扫描模式

QuickStep SCM

最快的扫描式电容显微镜

PinPoint AFM

无摩擦导电原子力显微镜

 多种独有的专利技术帮助顾客减少测试时间

CrN样品所做的针尖磨损实验 

通过对比重复扫描情况下探针尖端的形状变化,您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。

最佳AFM测量

借助真正非接触模式,探针尖端在扫描氮化铬样品(即探针检测样品)200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强,会让普通的探针很快变钝。

低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌

没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌

超低噪声Z探测器,噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像,没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。

使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。

在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02nm。

没有前沿或后沿过冲现象。

终身无需校准,减少设备维护成本。

 

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