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合作共赢 共话芯片

2021年5月25日

2021年5月25日,日立科学仪器(北京)有限企业总裁顾家晖先生、电镜营业部部长刁雪莲女士一行莅临西努光学参观引导,也就近年来在日立电镜产品的市场合作开拓等方面进行了友好交流。

日立科学仪器有限企业进入中国已有57年,业务包括纳米技术解决方案、分析解决方案及产业解决方案。其中,纳米技术解决方案集中和强化了电子束技术, 开创了面向半导体整体解决方案和新材料技术领域的新应用。目前在超高分辨扫描电镜、超高加速电压透射电镜、带有球差校正的扫描透射电镜等领域保持世界领先。

在众多产品中,Regulus系列是日立引以为傲的超高分辨率冷场扫描电子显微镜,分辨率高达0.6nm@15kV,0.7nm@1kV,它优异的低加速电压性能满足半导体客户不喷金直接观察导电性差的分析样品需求;同时新升级的光学系统使得束流可达20nA以上,打破了冷场电镜不能做EBSD(电子背散射衍射)的桎梏;专利的ExB核心技术实现对信号的高效探测,与转换电极结合允许进行信号选择,同一个探测器既可以探测二次电子获取的形貌像,也可以探测背散射电子获取成分衬度像,还可以进行信号混合采集。

超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的14nm以下先进半导体器件高分辨成像所设计。新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能,分辨率高达0.4 nm / 30 kV (SE),1.2 nm / 1 kV (SE),0.34 nm / 30 kV (STEM)。并使用改良的高真空性能和无与伦比的电子束稳定性来实现高效率截面观察。

西努光学自2003年成立以来,始终致力于以“以光学及图像算法为核心,为用户提供检测解决方案”推动智能检测装备的转型升级,企业将显微光学成像技术以及图像算法应用于检测技术,帮助工业企业、科研高校等客户实现智能化检测发展,产品功能涵盖缺陷检测、智能制造、实验室理化解决方案等多个领域。近年来随着国内半导体制造业蓬勃发展,西努光学结合自身优势,不断探索,现已为多家知名企业提供完善的半导体生产及失效分析整体解决方案。

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