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在高分辨率、受好评的FineSAT Ⅲ的基础上,进一步提高了分辨率


为提高分辨率,提高了以往使用的超声波频率。 在高频化方面,超声波在传播介质中的衰减越来越大,信噪

比降低的弊端变大,所以在检查用途方面,300MHz前后是实用的*高频率。



300MHz频率的超声波,在*佳条件下,仅 限于5μm左右宽度的线型识别,对于正在应用于*新LSI封装的TSV、Cu柱等微细结构体的检查时,可能无法适用。
FineSAT HR开发了新型电路、提高了分辨率,成功突破了这类超声波检查装置的极限。

产品构成:

FS100ⅢHR FS200ⅢHR FS300ⅢHR
支撑探头频率(MHz) 5~75 5~140 5~300

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