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从380nm~1050nm的可视光至近红外实现大范围波长区域中的分光测定


奥林巴斯的近红外显微分光测定仪USPM-RU-W可以高速&高精细地进行可视光区域至近红外区域的大范围波长的分光测定。

由于其可以很容易地测定通常的分光光度计所不能测定的细微区域、曲面的反射率,因此十分适用于光学元件与微小的电子部件等产品。





实的测定功能

使用一台即可进行反射率、膜厚、物体颜色、透过率、入射角45度反射率的各种分光测定。

测定反射率
测定以物镜聚光φ17~70μm的微小点的反射率。

反射率测定光路图

  
反射率测定例:镜片                                  反射率测定例:镜片周边部位


膜厚测定的图例

测定膜厚


活用反射率数据,测定约50nm~约10μm的单层膜、多层膜的膜厚。

 

测定物体颜色


根据反射率数据显示XY色度图、L*a*b色度图及相关数值。              

测定透过率

从受台下部透过φ2mm的平行光,测定平面样品的透过率。(选配)

透过率测定光路图


测定入射角为45度的反射率
从侧面向45度面反射φ2mm的平行光,测定其反射率。(选配)

45度反射率测定光路图
域的高精度&高速测定

  

光学系图

实现高速测定


使用平面光栅及线传感器进行全波长同时分光测定,从而实现高速测定。


                                                                   反射率测定图例  

                       

*适用于测定细小部件、镜片的反射率


新设计了可以在φ17~70μm的测定区域中进行非接触测定的专用物镜。通常的分光光度计不能进行测定的细小电子部件或镜片等的曲面,也可以实现再现性很高的测定。

                               

消除背面反射光的原理                                         

定反射率时,不需要背面防反射处理


将专用物镜与环形照明组合,不需要进行被检测物背面的防反射处理,就可测定*薄0.2mm的反射率*。

可选择的膜厚测定方法
根据测定的分光反射率数据进行单层膜或多层膜的膜厚解析。可以根据用途选择*佳的测定方法。

                                                               

峰谷法膜厚解析经过信息图例

峰谷法

这是一种根据测定的分光反射率值的峰值与低谷的周期性计算出膜厚的方法,对于测定单层膜是有效的。不需要复杂的设置,可以简单地求出。


  

                                                                               

傅里叶转换法膜厚解析经过信息图例

傅里叶转换

这是一种根据测定的分光反射率值的周期性计算膜厚的方法,对于单层膜及多层膜的测定有效。难以检测出峰值及低谷等时,可以几乎不受噪音的影响进行解析。

  

                                                                                                         

曲线调整法膜厚解析经过信息图例

曲线调整法


这是一种通过推算测定的分光反射率值与根据某种膜构造计算的反射率的差达到*小的构造计算出膜厚的方法,对于单层膜及多层膜的测定有效。还可以进行不会出现峰值及低谷的薄膜解析。


多样化应用
高速、高精度地应对多样化测定需求。

                                
通过测定球面、非球面的镜片、滤镜、反射镜等光学元件的反射率,进行涂层评价、物体颜色测定、膜厚测定。


数码相机镜片

投影仪镜片
光读取头镜片
眼镜片




适用于LED反射镜、半导体基板等微小电子部件的反射率测定、膜厚测定。


LED包装
半导体基板




适用于平面光学元件、彩色滤镜、光学薄膜等的反射率测定、膜厚测定、透过率测定。


液晶彩色滤镜
光学薄膜




适用于棱镜、反射镜等45度入射产生的反射率测定。                                  


棱镜
反射镜



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