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适合于前道到后道工程的晶圆检查


AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶

圆,以安全高效搬送薄片晶圆,非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。



适应范围广、搭配灵活

对应多种尺寸组合
大家推出了200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(对应小于150 mm的晶圆)的3种型号。除此以外,您还可以根据检查模式,选用微观检查专用型号"L型"或微观?宏观检查兼用型号"LMB型"。

晶圆尺寸?厚度对应表


薄片检查
对应薄片制造厂家的需求,AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆。


高度实用性

进一步优化的宏观检查


背面宏观360゜旋转
? 宏观检查手臂可以360゜旋转,更为容易发现伤痕和微尘。

? 利用360゜旋转功能,完全可以目视检查整个晶圆(包括边缘)。

此外,在表面宏观检查中,使用操纵杆可随意将晶圆*大倾斜30゜进行观察。


操作便捷
? 为了满足各种常规检查的要求,AL120可以登记多达10个检查程序。使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度。快速菜单选择按钮则可以让操作员立即切换不同程序。
? 晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示。 使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT,便于操编辑再次确认。
? AL120使用非接触光学定位、查找和对齐缺口/平面,可以减少晶圆和设备之间的接触,提高晶圆的清洁度。


高度可靠性

优先考虑晶圆和操编辑的安全
? 为了能够安全的安装晶圆,采用了在装置正面放置片盒的设计。
? 在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测,同时,在环境保护方面遵守了RoHS指令。


坚固、耐用的显微镜底座
AL120搭载奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列,通过各种观测方法,包括:明视场、暗视场、微分干涉(DIC)、近IR(近红外线)和DUV(深紫外线),实现了卓越的图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定,可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制,AL120还可以应用到其他型号的显微镜上。


人机工程学设计的载物台
? 手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率,标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
? 可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台,进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。 

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