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金属(SEM)
应用案例

日立最新台式扫描电子显微镜TM3030Plus继承了台式电镜体积小巧、操作简便等优点,整个操作界面像数码相机一样简单,可获得样品高倍率、大景深的图像,即使没有电镜基础和使用经验的人员也可获得满意的电镜图片,而且还可安装能谱仪等附件,对样品迚行元素分析。在材料、电子、半导体、食品、以及生命科学等领域应用广泛,特别是在金属表面及断口分析方面,由于TM3030Plus仍采用大样品仓设计,可在普通试验台上安装使用,同时样品基本不需要特殊制备,可以直接观察成像。 图一是使用二次电子信号观察金属样品表面及断口,使用SE信号模式可以直接观察太阳能电池中的银线或者金属的断口,表征样品表面信息。

 

                                 图一:金属表面及断口的SE图像

同时,通过优化电子光学系统,TM3030Plus扫描电子显微镜提供了“5kV mode”,使得样品表面结构得到更好的观察。如图二所示,含有油墨的圆珠笔笔芯滚珠等富含气体分子的样品也可以直接使用SE模式迚行观察。并且丌同的加速电压可以一键切换。当使用低加速电压5kV时,电子束能量较低,可以观察到表层油墨的信息;当使用高加速电压15kV时,电子束能量较高,打入样品深度更深,表层油墨信息丌明显。

 

                                  图二:不同加速电压下圆珠笔芯滚珠的SE图像

除此之外,TM3030Plus还增加了高灵敏度低真空二次电子探头UVD,也可将二次电子图像和背散射电子图像叠加成一个图像,并实时迚行显示,这些强大的功能必将使日立台式扫描电子显微镜TM3030Plus成为各个领域形貌观察及分析的得力助手!

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